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QUARTZTECH

2007

Présentation

Ligne pilote de fabrication de composants à l'aide de procédés dérivés de la micro-électronique sur différents matériaux ex. quartz, silicium, niobate de lithium.... Plate-forme technologique et ligne de fabrication destinées à la mise au point et à la fabrication de MEMs et MOEMs en salle blanche.

Porteurs

Université de Franche-Comté.

Partenaires

SENSEOR.

Chiffres

Date de démarrage : 07/01/2007

Budget total : 4412 000 €

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