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Lilit

2016

Présentation

L'objectif principal du projet Lilit est le développement d'une technologie économique et rapide, avec la possibilité de mise à l'échelle et compatibilité avec le traitement BAW standard. Permettant la fabrication de films LiNbO3 hautement couplés sur substrats électrodes/SiO2/Si ayant les propriétés acoustiques, adaptés aux filtres FBAR travaillant à 5-6 GHz et/ou avec la bande ultra large, ou avec la bande accordable fréquence.

Une approche combinée et intégrée de la synthèse et de la caractérisation, ainsi que la modélisation, la théorie et la fabrication de dispositifs seront appliquées afin de produire des films minces sur mesure, viables pour des applications technologiques. L'intégration des films LiNbO3 à la technologie silicium constituerait une percée dans les technologies des filtres RF à bande ultra-large et à haute fréquence. Cela permettrait d'augmenter la fréquences de télécommunication de 2-3 GHz à 6 GHz et d'augmenter la largeur de bande d'un facteur supérieur à 2. Permettant une amélioration de l'efficacité de la communication et une réduction du nombre de composants.

 

Porteurs

FEMTO-ST (25)

Partenaires

CEA-LETI - GRENOBLE (38), Institut des nanotechnologies de Lyon - VILLEURBANNE (69), TDK-EPCOS - Valbonne Sophia Antipolis (06)

Chiffres

Date de démarrage : 01/10/2016

Budget total : 1 846 814,00 €

Nos adhérents impliqués dans le projet

INSTITUT FEMTO-ST

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