MINETT
2012Micro et Nano-systèmes Tridimensionnels intégrés sur ferroélectriques à fort potentiel de valorisation industriel.
XFinger est un projet instrumental dédié à la conception et à la fabrication d'une nouvelle génération d'instruments de caractérisation permettant simultanément d'obtenir la topographie d'une surface et sa cartographie chimique à haute résolution. Ils permettent également de chercher un nano-objet sur une surface et d’en faire l’analyse chimique.
Ces instruments d'analyse non destructifs, opérant en atmosphère ambiante et non sensibles à la pollution de l'échantillon par le carbone, sont basés sur le couplage entre la Spectroscopie de Fluorescence X (XRF) et la Microscopie à Champ Proche. Le principe est d'utiliser la pointe-sonde de ces microscopes soit pour collimater un nanofaisceau de rayons X, soit pour collecter le signal de fluorescence localement sur une zone submicrométrique.
La résolution latérale attendue en analyse chimique est dans la gamme 100 nm à 1 µm. En topographie elle est de quelques nanomètres.
CINaM (13).
LovaLite (25).
Institut Néel (38).
Date de démarrage : 01/09/2013
Budget total : 2 401 851 €
Micro et Nano-systèmes Tridimensionnels intégrés sur ferroélectriques à fort potentiel de valorisation industriel.
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